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发明名称
DUAL SINGLE SIDED SPUTTER CHAMBERS WITH SUSTAINING HEATER
摘要
A disk processing system having a heater chamber and dual single-sided sputter chambers each with a sustaining heater.
申请公布号
US2014050843(A1)
申请公布日期
2014.02.20
申请号
US201213588946
申请日期
2012.08.17
申请人
YI CHANG B.;LIU HONGLING;YUAN HUA;TANAKA TATSURU;WD MEDIA, INC.
发明人
YI CHANG B.;LIU HONGLING;YUAN HUA;TANAKA TATSURU
分类号
G11B5/851
主分类号
G11B5/851
代理机构
代理人
主权项
地址
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