| 摘要 |
Es wird ein Probenhalter bereitgestellt, der zwischen einer elektrostatischen Haltevorrichtung und einer Probe, die kleiner ist als eine obere Oberfläche der elektrostatischen Haltevorrichtung, anzuordnen ist, wobei der Probenhalter enthält: eine Grundplatte, die in der gleichen Größe wie die obere Oberfläche der elektrostatischen Haltevorrichtung ausgebildet ist, einen Probenanordnungsbereich, der sich auf einer oberen Oberfläche der Grundplatte befindet und dazu bestimmt ist, die Probe darauf abzulegen, und einen Umfangsbereich, der der Teil der oberen Oberfläche der Grundplatte ist, der nicht der Probenanordnungsbereich ist und der ein nach außen hin freiliegendes leitfähiges Material aufweist. |
