一种光学元件抛光装置

摘要

一种光学元件抛光装置，涉及抛光装置。设有抛光液存储容器、调节阀、轴承、抛光头、湿度传感器、光学元件夹具、抛光盘、防护罩、导管、水泵、过滤器和喷头；抛光液存储容器中心与抛光头主轴间相连；抛光液存储容器底部设三段弧形开口，调节阀安装在抛光液存储容器底部内侧；抛光头上表面与抛光液存储容器下表面接触但不固定，抛光头上表面对应抛光液存储容器内调节阀的位置开设凹槽，凹槽下部设4个通孔；夹具周围分布传感器；抛光盘内部均布4条引流槽，抛光盘上表面对应引流槽位置开设通孔，通孔连接抛光盘上表面与引流槽；防护罩与抛光盘主轴连接；防护罩下方与导管一端相连，导管中设水泵和过滤器，导管另一端与喷头连接，喷头正对抛光垫。

主权项

一种光学元件抛光装置，其特征在于设有抛光液存储容器、调节阀、轴承、抛光头、湿度传感器、光学元件夹具、抛光盘、防护罩、导管、水泵、过滤器和喷头；所述抛光液存储容器内装抛光液，抛光液存储容器中心与抛光头主轴间由轴承相连，抛光头主轴旋转时不带动抛光液存储容器的旋转；抛光液存储容器底部均匀分布三段弧形开口，调节阀安装在抛光液存储容器底部内侧，调节阀由湿度传感器控制，调节阀与三段弧形开口配合实现开闭状态；抛光头上表面与抛光液存储容器下表面接触但不固定，抛光头上表面对应抛光液存储容器内调节阀的位置开设一条凹槽，凹槽下部均匀分布4个通孔，4个通孔对应光学元件夹具四周；光学元件夹具周围分布湿度传感器，实时检测光学元件周围的抛光液湿度；抛光盘内部均布4条引流槽，抛光盘上表面对应引流槽位置开设多个通孔，通孔连接抛光盘上表面与引流槽；防护罩安装在抛光盘外部，呈楔形构造；防护罩与抛光盘主轴通过轴承连接，抛光盘旋转时，防护罩不旋转；防护罩下方与导管一端相连，导管中设置水泵和过滤器，导管另一端与喷头连接，喷头正对抛光垫；多余的抛光液由导管回流至喷头处，喷洒在抛光垫上，重复利用。