一种应用于化学腐蚀制备多孔硅的气泡消除装置

摘要

一种应用于化学腐蚀制备多孔硅的气泡消除装置，包括基座、反应容器以及容器盖，所述基座为长方体结构，从顶面向下开设容器槽，在容器槽底部铺设电加热管，在容器槽内安装反应容器，在容器槽的顶口处安装容器盖；所述容器盖顶部安装电机，电机转轴垂直向下穿过容器盖，电机转轴底端安装搅拌叶。本实用新型具有结构精巧、使用便利等优点。

主权项

一种应用于化学腐蚀制备多孔硅的气泡消除装置，包括基座、反应容器以及容器盖，其特征在于：所述基座为长方体结构，从顶面向下开设容器槽，在容器槽底部铺设电加热管，在容器槽内安装反应容器，在容器槽的顶口处安装容器盖；所述容器盖顶部安装电机，电机转轴垂直向下穿过容器盖，电机转轴底端安装搅拌叶。