| 发明名称 | 高产量半导体成批晶片处理设备的自动操作 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种方法和系统，所述方法包括：将舟传送单元(BTU)臂从初始位置转动到位于处理室下面的第一位置，该BTU臂携带包含多个部件的舟，该BTU臂与支撑所述舟的舟支座相接合；将所述BTU臂向上移动到第二位置，从而所述舟部分地进入到所述处理室中，离所述处理室的入口的距离为D；将携带基座的升降机臂接合到所述舟支座的下侧；将所述BTU臂从所述第二位置移开；以及将所述升降机臂向上移动以使所述舟完全插入到所述处理室内。本发明是为高产量而对部件传送进行自动化的技术。 | ||
| 申请公布号 | CN102157418B | 申请公布日期 | 2014.02.19 |
| 申请号 | CN201110068193.0 | 申请日期 | 2007.11.08 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | A·A·埃玛尼;M·阿加莫哈马迪;S·赛德伊 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人 | 南毅宁;周建秋 |
| 主权项 | 一种为高产量半导体成批晶片处理而自动化部件传送的方法，该方法包括：将舟传送单元(BTU)臂从外壳的前部区域中的初始位置转动到位于处理室下面的第一位置，该舟传送单元(BTU)臂携带包含多个部件的舟，该舟传送单元(BTU)臂与支撑所述舟的舟支座相接合；将所述舟传送单元(BTU)臂向上移动到第二位置，从而所述舟部分地进入到所述处理室中，其中在所述第二位置处，所述舟的顶端与所述处理室的入口之间的距离为距离D；将携带基座的升降机臂从所述外壳的后部区域接合到所述舟支座的下侧；将所述舟传送单元(BTU)臂从所述第二位置移开；以及将所述升降机臂向上移动以使所述舟完全插入到所述处理室内。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号741信箱1分箱 | ||