| 发明名称 | 适用于等离子体处理室的真空密封装置 | ||
| 摘要 | 一种真空密封装置，其包括：一体成型的弹性垫圈，其具有通过平坦的连接部相互连接的至少第一和第二O形环；第一部件，其具有第一平坦密封表面，所述表面中具有保持所述第一O形环的鸽尾形槽和保持所述第二O形环的方壁形槽，所述第一部件还包括由所述第一O形环或所述第二O形环包围的在所述第一平坦密封表面中的至少一个通道。 | ||
| 申请公布号 | CN103597576A | 申请公布日期 | 2014.02.19 |
| 申请号 | CN201280025393.0 | 申请日期 | 2012.05.16 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 哈梅特·辛格 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 李献忠 |
| 主权项 | 一种真空密封装置，其包括：一体成型的弹性垫圈，其具有通过平坦的连接部相互连接的至少第一和第二O形环；第一部件，其具有第一平坦密封表面，所述表面中具有保持所述第一O形环的鸽尾形槽和保持所述第二O形环的方壁形槽，所述第一部件还包括由所述第一O形环或所述第二O形环围绕的在所述第一平坦密封表面中的至少一个通道。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||