| 发明名称 | 固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种起泡少且切割性能较高的固定研磨粒线锯(fixed abrasive grain wire saw)用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。本发明提供的一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于含有：(a)萜烯环氧烷(terpene alkylene oxide)嵌段共聚物；(b)二醇(glyco1)、聚烷二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及(c)水。本发明提供的一种锭的切割方法，其特征在于：使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液，通过固定研磨粒线锯切割硅锭；及本发明还提供一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法。 | ||
| 申请公布号 | CN103597585A | 申请公布日期 | 2014.02.19 |
| 申请号 | CN201280029282.7 | 申请日期 | 2012.09.07 |
| 申请人 | 帕莱斯化学株式会社 | 发明人 | 铃木清史;户嵨清斗 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;B24B27/06(2006.01)I;B28D5/02(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，含有：(a)萜烯环氧烷(terpene alkylene oxide)嵌段共聚物；(b)二醇(glycol)、聚烷二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及（c)水。 | ||
| 地址 | 日本国神奈川县 | ||