| 发明名称 | 气浮轴承的刚度测试装置 | ||
| 摘要 | 本发明的气浮轴承的刚度测试装置包括平台、显示仪表、加载机构和龙门架；被测组件设置在所述平台的上表面上，所述平台的上表面为气浮面，该被测组件与所述平台之间形成气浮轴承；所述龙门架安装在所述平台上；所述加载机构安装在所述龙门架上，对所述被测组件施加加载力；所述显示仪表与所述加载机构连接，该显示仪表实时显示所述加载机构施加的加载力。本发明的气浮轴承的刚度测试装置能测试单个气浮轴承的刚度和组合气浮轴承的刚度，且操作简单。 | ||
| 申请公布号 | CN102455249B | 申请公布日期 | 2014.02.19 |
| 申请号 | CN201010530570.3 | 申请日期 | 2010.11.03 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 贾海立;朱岳彬;韩良华;王茜 |
| 分类号 | G01M13/04(2006.01)I | 主分类号 | G01M13/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，包括平台、显示仪表、加载机构、导轨和龙门架； 被测组件设置在所述平台的上表面上，所述平台的上表面为气浮面，该被测组件与所述平台之间形成气浮轴承； 所述龙门架安装在所述平台上； 所述加载机构安装在所述龙门架上，对所述被测组件施加加载力； 所述显示仪表与所述加载机构连接，该显示仪表实时显示所述加载机构施加的加载力； 所述导轨固定设置在所述平台上，所述导轨为气浮导轨； 所述被测组件的一侧面与所述导轨的侧面之间形成气膜。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张东路1525号 | ||