交叉指状垂直原生电容器

摘要

金属电容器结构包括多个线层结构（15、16、25、26），其与通路层结构（31、32、33、34、41、42）垂直互连。每个第一线层结构（15或25）和每个第二线层结构（16或26）包括一组平行金属线（11或21、12或22），其在端部上物理地结合到具有矩形水平截面区域的矩形标签结构（13或23、14或24）。第一线层结构（15或25）内的第一组平行金属线（11或21）和第二线层结构（16或26）内的第二组平行金属线（12或22）交叉指状且彼此平行，并且可共同形成交叉指状均匀节距结构（（11、12）或（21、22））。因为矩形标签结构（13或23、14或24）在矩形标签结构（13或23、14或24）的两个相向侧壁中间的区域内不朝着彼此突出，所以亚分辨率辅助特征（SRAFs）可用于在交叉指状均匀节距结构（（11、12）或（21、22））的整体上提供均匀宽度和均匀节距。

主权项

一种金属电容器结构，包括多个线层结构（15、16、25、26）和至少一个通路层结构（31、32、33、34、41或42），其中，在每个线层，所述多个线层结构（15、16、25、26）包括：第一线层结构（15或25），包括具有第一长方体形状的第一矩形标签结构（13或23）和第一多个平行金属线（11或21），所述第一多个平行金属线（11或21）从所述第一矩形标签结构（13或23）的侧壁突出且与所述第一矩形标签结构（13或23）的侧壁邻接；以及第二线层结构（16或26），包括具有第二长方体形状的第二矩形标签结构（14或24）和第二多个平行金属线（12或22），所述第二多个平行金属线（12或22）从所述第二矩形标签结构（14或24）突出且与所述第二矩形标签结构（14或24）邻接，其中所述第一多个平行金属线（11或21）和所述第二多个平行金属线（12或22）共同构成在一个方向上具有节距的交叉指状均匀节距结构（（11、12）或（21、22）），并且所述第一矩形标签结构（13或23）和所述第二矩形标签结构（14或24）不突出进入所述第一矩形标签结构（13或23）的所述侧壁和所述第二矩形标签结构（14或24）的所述侧壁之间的区域。