真空镀膜机冷冻管装置

摘要

本实用新型公开了真空镀膜机冷冻管装置，它涉及真空镀膜机技术领域，真空室腔体的一侧安装有主阀腔体，主阀腔体内分别安装有冷冻线圈、闸阀，冷冻线圈与超级冷冻机连接，主阀腔体分别与初阀、主阀连接，主阀与扩散泵连接，扩散泵与前阀连接；它将冷冻线圈设计安装在主阀前面，有效彻底便捷的达到除霜目的，提高生产效率，除冰后不会污染扩散泵油，这样可以减少DP油的更换次数，节约成本，避免安全事故的发生。

主权项

真空镀膜机冷冻管装置，它包含真空室腔体(1)、主阀腔体(2)、初阀(3)、主阀(4)、冷冻线圈(5)、前阀(6)、扩散泵(7)、超级冷冻机(8)，其特征在于：它还包含闸阀(9)，真空室腔体(1)的一侧安装有主阀腔体(2)，主阀腔体(2)内分别安装有冷冻线圈(5)、闸阀(9)，冷冻线圈(5)与超级冷冻机(8)连接，主阀腔体(2)分别与初阀(3)、主阀(4)连接，主阀(4)与扩散泵(7)连接，扩散泵(7)与前阀(6)连接。