发明名称 |
真空镀膜机冷却水管连接结构 |
摘要 |
本实用新型公开了真空镀膜机冷却水管连接结构,它包含进水管路、回水管路、球阀、机械泵和电源,所述机械泵回水口设有三通接头,一路连接机械泵回水管,另一路通往电源后连接电源回水管,所述电源回水管上设有电磁阀。本实用新型的有益效果:本实用新型结构设计合理,改变电源冷却水流路径,充分利用机械泵产生的热量来调节冷却水的温度,使电源内的水管壁不易结露,有效避免电源内部元器件受潮受损。 |
申请公布号 |
CN203440437U |
申请公布日期 |
2014.02.19 |
申请号 |
CN201320531868.5 |
申请日期 |
2013.08.29 |
申请人 |
上海哈呐机电设备有限公司 |
发明人 |
李龙哲;周征华;李顺立;朱小凤;李花 |
分类号 |
C23C14/22(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/22(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
真空镀膜机冷却水管连接结构,其特征在于:它包含进水管路、回水管路、球阀、机械泵和电源,所述机械泵回水口设有三通接头,一路连接机械泵回水管,另一路通往电源后连接电源回水管,所述电源回水管上设有电磁阀。 |
地址 |
200540 上海市金山区朱泾镇大茫6011号-135室 |