用于大尺寸束控制应用的多轴、大倾角、晶片级微镜阵列

摘要

一种用于反射或重定向入射的光、微波或声能的系统(120)，包括配置为支撑反射元件(130)阵列的第一衬底(144)，所述反射元件能够响应于反射器角度控制信号在整个基本上90度的范围内进行角度移位，还包括控制器，其被编程为产生反射器角度控制信号以实现期望的入射能量、束或波前重定向。反射元件(130)优选包括铰接地或可移动地附接至第一衬底(130)上的MEMS微反射器元件，并且限定瞄准入射的光、微波或声能的源的反射表面。

主权项

一种用于反射或重定向入射的光、微波或声能的系统，包括：（a）第一衬底，被配置为铰接地支撑大倾角微镜阵列，所述微镜阵列包括多个反射元件，所述反射元件适于响应于反射器角度控制信号在整个基本上90度的范围内进行角度移位；（b）中央或远程控制器，被编程为产生所述反射器角度控制信号来实现期望的入射能量束或波前的重定向；（c）其中所述反射元件包括MEMS镜子元件，所述MEMS镜子元件在近边处铰接地附接到所述第一衬底并且利用与所述近边相对的远边限定反射表面；（d）其中每个所述MEMS镜子元件具有中央铰链，所述中央铰链定位在所述近边和所述远边之间，所述中央铰链被配置为铰接地保持尾状部件，所述尾状部件具有与可移动基底相对的铰链端部；（e）并且其中所述第一衬底还包括用于每个镜子元件尾状部件的滑块轨道区域，所述滑块区域被配置为在选定的多个尾状部件位置中的一个处可滑动地接收、啮合以及支撑所述镜子元件尾状部件，使得位于所述衬底的滑块区域内的每个镜子元件尾状部件位置与限定的镜子元件的角位移相对应。