高气压差分抽气粒子束质谱测量系统

摘要

本发明公开了一种高气压差分抽气粒子束质谱测量系统，包括:真空及取样模块、质谱仪模块和斩束锁相放大模块，其中真空及取样模块包括：真空腔、分子泵和电离真空计和取样器，取样器用于将待测样品导入真空腔，质谱仪模块包括：电离室、四极杆、检测器和数据采集处理单元，斩束锁相放大模块包括：斩束片和电机，斩束片和电机位于真空腔内，电机带动斩束片绕斩束片的中心转动，斩束片的局部位于取样器和电离室之间；发光二极管和光电二极管，发光二极管和光电二极管相对应地设置在斩束片的两侧，用于提供同步参考信号；和锁相放大器，锁相放大器分别与数据采集处理单元和光电二极管电性连接。该系统具有结构紧凑，准确可靠，可移植性好的优点。

主权项

一种高气压差分抽气粒子束质谱测量系统，其特征在于，包括：真空及取样模块、质谱仪模块和斩束锁相放大模块，其中所述真空及取样模块包括：真空腔；分子泵和电离真空计，所述分子泵和所述电离真空计与所述真空腔相连；和取样器，所述取样器用于将待测样品导入所述真空腔，所述质谱仪模块包括：电离室，所述电离室位于所述真空腔内且位置与所述取样器对应；四极杆，所述四极杆位于所述真空腔内且与所述电离室相连；检测器，所述检测器位于所述真空腔内且与所述四极杆相连；和数据采集处理单元，所述数据采集处理单元与所述检测器电性连接，所述斩束锁相放大模块包括：斩束片和电机，所述斩束片和所述电机位于所述真空腔内，所述电机带动所述斩束片绕所述斩束片的中心转动，所述斩束片的局部位于所述取样器和所述电离室之间；发光二极管和光电二极管，所述发光二极管和所述光电二极管相对应地设置在所述斩束片的两侧，用于提供同步参考信号；和锁相放大器，所述锁相放大器分别与所述数据采集处理单元和所述光电二极管电性连接。