带电粒子装置

摘要

本发明提供一种带电粒子装置，其具有筒形的镜筒(10)、设于该镜筒内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台(103)、以及支承所述镜筒的支承装置(211、212)。所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简支的简支构造，所述镜筒的支承点被设定在如下位置：将所述镜筒视为两端为自由端的梁时的、与梁的振动的波节的位置对应的位置。由此，能够不增加镜筒自身的重量，使镜筒高刚性化，使作用于镜筒的振动降低。

主权项

一种带电粒子装置，其具有：筒形的镜筒、设于该镜筒的内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台、以及支承所述镜筒的支承装置，其特征在于，所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简支的简支构造，所述镜筒的支承点被设置在将所述镜筒视为两端为自由端的梁时的、与梁的振动的波节的位置对应的位置上。