| 发明名称 | 衬底处理设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种衬底处理设备，其包含：腔室，其中具有反应空间；衬底安放部件，其安置在所述腔室的所述反应空间中以使衬底安放在所述衬底安放部件上；感应加热单元，其用以加热所述衬底安放部件；以及至少一个高度调节单元，其用以根据所述衬底安放部件的温度调节区而在所述腔室的外部选择性地调节所述感应加热单元的高度。因此，有可能通过在所述腔室的外部调节所述衬底安放部件与所述感应加热单元之间的距离长度来恒定地控制所述衬底安放部件的温度。 | ||
| 申请公布号 | CN103594396A | 申请公布日期 | 2014.02.19 |
| 申请号 | CN201310524521.2 | 申请日期 | 2009.09.04 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 李浩喆;崔善弘;李丞浩;李智训;李东奎;李太浣 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 林彦 |
| 主权项 | 一种衬底处理设备，其包括：腔室，其中具有反应空间；衬底安放部件，其安置在所述腔室中以使衬底安放在所述衬底安放部件上；感应加热单元，其用以通过感应加热来加热所述衬底安放部件；以及绝热部件，其安置在所述感应加热单元与所述衬底安放部件之间，其中所述绝热部件在其中包括绝热体。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||