发明名称 基板保持具
摘要 1.本外观设计产品的名称:基板保持具。2.本外观设计产品的用途:在保持并输送例如半导体晶圆等圆形基板的基板输送臂上安装可更换的基板保持具。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状的设计。4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:设计1立体图1。5.省略视图:设计1右视图与设计1左视图对称,省略设计1右视图;设计2右视图与设计2左视图对称,省略设计2右视图。6.指定基本设计:设计1。
申请公布号 CN302742601S 申请公布日期 2014.02.19
申请号 CN201330367654.4 申请日期 2013.08.01
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 元井宏治;松下道明;饭田成昭;榎木田卓;丰田康典;木山秀和
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;张会华
主权项
地址 日本东京都