片盒传输装置及具有其的半导体设备

摘要

本发明公开了一种片盒传输装置，包括：片盒，所述片盒内用于放置承载有晶片的托盘，所述片盒的外底面上设有第一导引件；腔体，所述腔体内具有用于容纳所述片盒的腔室，所述腔室的底壁上设有用于与所述第一导引件配合的第二导引件；和移动平台，所述移动平台的上表面上设有第三导引件，所述第三导引件用于与所述第一导引件配合以将所述片盒支撑在所述移动平台上，所述移动平台可移动到所述腔室的前开口处以便所述第二导引件和所述第三导引件彼此邻接且所述片盒沿所述第二和第三导引件可进出所述腔室。根据本发明的片盒传输装置，可方便、高效、快速的取放片盒。本发明还公开了一种半导体设备。

主权项

一种片盒传输装置，其特征在于，包括：片盒，用于放置承载有晶片的托盘，所述片盒的外底面上设有第一导引件；腔体，所述腔体内具有用于容纳所述片盒的腔室，所述腔室的底壁上设有与所述第一导引件配合的第二导引件；和移动平台，所述移动平台的上表面上设有第三导引件，所述第三导引件用于与所述第一导引件配合以将所述片盒支撑在所述移动平台上，所述移动平台能够移动到所述腔室的前开口处以便所述第二导引件和所述第三导引件彼此邻接且所述片盒沿所述第二导引件和第三导引件进出所述腔室。