一种立体与平面分区方式的多气体独立通道的喷淋方法

摘要

一种立体与平面分区方式的多气体独立通道的喷淋方法，主要解决现有的喷淋方法气体沉积的时间及反应条件不易控制及浪费不可再生特气资源的技术问题。该方法采用立体分区、平面分区或两种分区相结合方式，隔离出不同的气体路径。气体分别从各自独立的气体进口进入喷淋板主体内，又通过各自独立的通道，到达各自分区，并从各自的分区通道到达反应腔室。彼此独立结构使不同气体不会提前相遇或反应。通过规划不同的分区结构及分区形式，来满足多种气体的分布，使气体能均匀、快速的扩散到腔室内，并在基板上进行沉积反应。另外，也可在其上安装加热或冷却构件，以满足更严苛的工艺条件要求。本发明提供了一种能满足多种气体同时、独立、均匀沉积的喷淋方法。

主权项

一种立体与平面分区方式的多气体独立通道的喷淋方法，该方法采用立体分区、平面分区或两种分区相结合方式，隔离出不同的气体路径，气体分别从各自独立的气体进口进入喷淋板主体内，又通过各自独立的通道，到达各自分区，并从各自的分区通道到达反应腔室，彼此独立结构使不同气体不会提前相遇或反应，通过规划不同的分区结构及分区形式，来满足多种气体的分布，使气体能均匀、快速的扩散到腔室内，并在基板上进行沉积反应。