能够快速换料的单晶炉及单晶炉快速换料方法

摘要

一种能够快速换料的单晶炉，包括石墨加热器、保温桶、中炉体、热场石墨件、支撑块、下炉体、中轴、石墨托、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚升降机构、中炉体升降机构。坩埚升降机构及石墨加热器装设在下炉体内，且坩埚升降机构位于石墨加热器的下方。中轴安装在坩埚升降机构的坩埚轴上。石墨托安装在中轴的上端，石墨坩埚放在石墨托上，石英坩埚装在石墨坩埚内。中炉体安装在下炉体上，且在中炉体的内壁上装有支撑块。中炉体还与中炉体升降机构连接，中炉体升降机构用于带动中炉体上升、下降。保温桶安装在中炉体里面，且与支撑块接触。热场石墨件安装在保温桶的上端，且罩在石墨加热器上。本发明还提供一种单晶炉快速换料方法。

主权项

一种能够快速换料的单晶炉，其特征在于：包括石墨加热器、保温桶、中炉体、热场石墨件、支撑块、下炉体、中轴、石墨托、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚升降机构、中炉体升降机构；坩埚升降机构及石墨加热器装设在下炉体内，且坩埚升降机构位于石墨加热器的下方；中轴安装在坩埚升降机构的坩埚轴上，且在坩埚升降机构的推动下在石墨加热器内并沿石墨加热器轴向上下运动；石墨托、石墨坩埚、石英坩埚设置在石墨加热器内，且石墨托安装在中轴的上端，石墨坩埚放在石墨托上，石英坩埚装在石墨坩埚内，硅料装在石英坩埚内；中炉体安装在下炉体上，且在中炉体的内壁上装有支撑块，中炉体还与中炉体升降机构连接，中炉体升降机构用于带动中炉体上升、下降；保温桶安装在中炉体里面，且与支撑块接触；热场石墨件安装在保温桶的上端，且安装有热场石墨件的保温桶罩在石墨加热器上。