发明名称 Verfahren zum Herstellen von kleinflächigen Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 CH507590(A) 申请公布日期 1971.05.15
申请号 CH19700008979 申请日期 1970.06.15
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BURTSCHER,JOACHIM,DR.;EMEIS,REIMER,DR.;HERLET,ADOLF,DR.
分类号 H01L29/74;H01L21/00;H01L23/29;H01L23/482;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/66 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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