一种具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置

摘要

一种具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置，涉及一种超精密三轴联动微铣削装置。为了解决目前无大口径KDP晶体元件表面微缺陷修复设备的问题。刀具移动部分布线板、刀具移动部分垫块及手动升降调整平台均固定在底部安装平板的上端面，刀具三轴联动平台固定在刀具移动部分垫块上，切屑收集总成与刀具三轴联动平台连接，刀具显微镜移动平台、手动升降调整平台及显微镜连接板由上至下依次连接，显微镜连接板与底部安装平板的上端面连接。本发明用于大口径KDP晶体元件表面微缺陷的超精密修复。

主权项

一种具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置，其特征在于：所述具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置包括底部安装平板（17）、手动升降调整平台（18）、显微镜连接板（21）、刀具显微镜移动平台（25）、切屑收集总成（26）、刀具三轴联动平台（28）、刀具移动部分布线板（32）及刀具移动部分垫块（33）；刀具移动部分布线板（32）、刀具移动部分垫块（33）及手动升降调整平台（18）均固定在底部安装平板（17）的上端面，底部安装平板（17）上沿其厚度方向加工有三个连接孔（62），三个连接孔（62）均布设置在同一圆周上，刀具三轴联动平台（28）固定在刀具移动部分垫块（33）上，切屑收集总成（26）与刀具三轴联动平台（28）连接，刀具显微镜移动平台（25）、手动升降调整平台（18）及显微镜连接板（21）由上至下依次连接，显微镜连接板（21）与底部安装平板（17）的上端面连接。