层叠体的弯曲寿命预测方法和层叠体的弯曲寿命预测装置

摘要

在具有多个层的层叠体的弯曲寿命预测方法中，针对假想的层叠体，使用构成假想的层叠体的各层的厚度、构成假想的层叠体的各层的应力和变形的关系、弯曲试验中的固定板和可动板的间隔、假想的层叠体的布线层的线宽度及线间宽度的各信息，计算在假想的层叠体的布线层中产生的应力，基于该计算出的应力、应力和弯曲寿命的关系，预测假想的层叠体的弯曲寿命。

主权项

一种层叠体的弯曲寿命预测方法，针对层叠体，预测要通过弯曲试验测定的弯曲寿命，该层叠体向一个方向延伸，能够弯曲，并且具有：包含基体层、和由图案化的导体构成的布线层的层叠的多个层，该弯曲试验以如下方式进行，即，使所述层叠体弯曲为U字形状并插入到隔开规定的间隔而配置的固定板和可动板之间，并且将所述层叠体的长尺寸方向的各端部分别固定于所述固定板和可动板，使可动板在与其面平行的方向往复运动，该方法的特征在于，具备：针对相互不同的结构的多个所述层叠体的试料的每一个，使用构成所述试料的各层的厚度、构成所述试料的各层的应力和变形的关系、所述弯曲试验中的固定板和可动板的间隔、以及所述试料的布线层的线宽度及线间宽度的各信息，计算在所述试料的布线层中产生的应力的第一计算过程；针对所述多个试料的每一个，通过所述弯曲试验测定弯曲寿命的过程；基于通过所述第一计算过程计算出的在各试料的布线层中产生的应力、和通过测定所述弯曲寿命的过程测定的各试料的弯曲寿命，求取在任意的结构的所述层叠体的所述布线层中产生的应力和弯曲寿命的关系的过程；针对作为预测弯曲寿命的对象的假想的所述层叠体，使用构成所述假想的层叠体的各层的厚度、构成所述假想的层叠体的各层中的应力和变形的关系、所述弯曲试验中的固定板和可动板的间隔、以及所述假想的层叠体的布线层的线宽度及线间宽度的各信息，计算在所述假想的层叠体的布线层中产生的应力的第二计算过程；以及基于通过所述第二计算过程计算出的在所述假想的层叠体的布线层中产生的应力、和通过求取所述应力和弯曲寿命的关系的过程求取的所述应力和弯曲寿命的关系，预测所述假想的层叠体的弯曲寿命的过程，在所述第一计算过程及第二计算过程中，在作为所述层叠体中的从上方观察时存在布线层的部分的布线部和作为所述层叠体中的从上方观察时不存在布线层的部分的空间部进行不同的计算，计算在所述布线层产生的垂直应力和在所述层叠体产生的剪切应力，使用所述垂直应力 和所述剪切应力计算在所述布线层产生的主应力，作为在所述布线层产生的应力，在求取所述应力与所述弯曲寿命的关系的过程中，将所述应力设为S，将所述弯曲寿命设为N，将进行所述弯曲试验时的温度设为T，将所述弯曲试验中的所述可动板的往复运动的频率设为f，将对所述应力与弯曲寿命的关系进行近似的数式设为N＝α·(fχ/Sβ)·exp(δ/T)，通过最小二乘法决定α、β、χ、δ的值，在预测所述弯曲寿命的过程中，基于通过所述第二计算过程计算出的应力，和对所述应力与弯曲寿命的关系进行近似的数式，预测所述假想的层叠体的弯曲寿命。