基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器及其检测方法

摘要

本发明公开了一种基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器，包含石英基片衬底、Si3N4粘附层和铂金属电极，所述Si3N4粘附层位于石英基片底衬的上表面，所述铂金属电极位于Si3N4粘附层之上；所述铂金属电极包含接触区、电导率感应电极和温度感应电极；所述基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器的正面和背面还各包含一层Si3N4保护层，正面Si3N4保护层刻蚀出窗口，露出电导率感应电极和温度感应电极。本发明还公开了一种基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器的测量方法，根据交流电流、电压差等计算出电导率，进而计算出盐度值。本发明基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器器件尺寸小，具有较高的测量范围和稳定性，可直接与海水长久接触而不产生漂移。

主权项

一种基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器，其特征在于：包含石英基片衬底、Si3N4粘附层和铂金属电极，所述Si3N4粘附层位于石英基片底衬的上表面，所述铂金属电极位于Si3N4粘附层之上；所述铂金属电极包含接触区、电导率感应电极和温度感应电极；所述电导率感应电极有4个，每个电导率感应电极具有1个接触区；所述温度感应电极有1个，温度感应电极的两端各有1个接触区；所述基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器的正面和背面还各包含一层Si3N4保护层，正面Si3N4保护层刻蚀出窗口，露出电导率感应电极和温度感应电极。