托盘组件及具有其的MOCVD设备

摘要

本发明提出了一种托盘组件，包括：可旋转的托座；和多层托盘，所述多层托盘沿竖向彼此间隔设置，最下层托盘安装在所述托座上，相邻两层托盘中的上层托盘和下层托盘之间通过支撑组件连接，所述支撑组件邻近所述托盘的边缘。根据本发明实施例的托盘组件，采用托座支撑多层托盘，使得多层托盘旋转时更平稳，又由于多层托盘中的相邻的两层托盘采用边缘支撑组件连接，从而不会遮挡与切割中心进气气流，有利于中心进气气流在托盘的表面形成平稳层流，改善工艺效果。本发明还提出了一种具有上述托盘组件的MOCVD设备。

主权项

一种托盘组件，其特征在于，包括：可旋转的托座；和多层托盘，所述多层托盘沿竖向彼此间隔设置，最下层托盘安装在所述托座上，相邻两层托盘中的上层托盘和下层托盘之间通过支撑组件连接，所述支撑组件邻近所述托盘的边缘。