发明名称 一种化学溶液法制备钆钡铜氧高温超导薄膜的方法
摘要 本发明公开了一种化学溶液法制备钆钡铜氧高温超导薄膜的方法,先制备低氟钆钡铜氧溶液,该溶液采用氧化钆或醋酸钆、醋酸钡、醋酸铜作为起始原料,并采用络合剂,将起始原料溶于溶剂中形成钆钡铜氧低氟溶液,再进行凝胶薄膜的制备及干燥,最后对薄膜进行预处理和终处理,即得到GdBCO高温超导薄膜。利用本发明提供的方法制备的薄膜表面光滑,具有良好的超导特性,且薄膜制备成本低、工艺简单且容易控制;热处理工艺周期大大缩短,其他方法制备的少氟钆钡铜氧溶液相比,氟含量更低,使得可以通过不到2小时的快速热处理即可完成薄膜的预处理,且获得的薄膜性能也可实现高临界转变温度Tc,高临界电流密度Jc的特点。
申请公布号 CN102569636B 申请公布日期 2014.02.19
申请号 CN201210015152.X 申请日期 2012.01.18
申请人 西安理工大学 发明人 陈源清;赵高扬
分类号 H01L39/24(2006.01)I 主分类号 H01L39/24(2006.01)I
代理机构 西安弘理专利事务所 61214 代理人 李娜
主权项 一种化学溶液法制备钆钡铜氧高温超导薄膜的方法,其特征在于,包括以下操作步骤:1)制备低氟钆钡铜氧溶液;1.1将原料A溶解在络合剂A中,并在40~80℃的加热条件下搅拌溶解后,经过50~90℃烘干或减压蒸馏后得到白色固体A;所述原料A为氧化钆或醋酸钆;络合剂A为三氟乙酸;当原料A为氧化钆时,氧化钆:三氟乙酸的摩尔比为0.5:3~6;当原料A为醋酸钆时,醋酸钆:三氟乙酸的摩尔比为1:3~6;或是,将原料A溶解在络合剂A中,并在40~80℃的加热条件下搅拌溶解后,经过50~90℃烘干或减压蒸馏后得到白色固体A,再向白色固体A中加入溶剂A进行稀释,搅拌溶解后,得到溶液A;所述原料A为氧化钆或醋酸钆;络合剂A为三氟乙酸;溶剂A为甲醇、丙烯酸、α‑甲基丙烯酸或丙酸;当原料A为氧化钆时,氧化钆:三氟乙酸:溶剂A的摩尔比为0.5:3~6:10~30;当原料A为醋酸钆时,醋酸钆:三氟乙酸:溶剂A的摩尔比为1:3~6:10~30;1.2将原料B溶解在络合剂B和溶液B的混合溶液中,控制原料B:络合剂B:溶剂B的摩尔比为1:1.5~10:10~40,搅拌溶解后,得到溶液B;所述原料B为醋酸钡;络合剂B为丙烯酸、乳酸、丙酸或α‑甲基丙烯酸;溶剂B为甲醇、丙烯酸、丙酸或α‑甲基丙烯酸;1.3将原料C先溶解在溶剂C中,再添加络合剂C,控制原料C:络合剂C:溶剂C的摩尔比为1:2~10:10~40,经25~40℃加热搅拌溶解后形成溶液C;所述原料C为醋酸铜;络合剂C为丙烯酸、丙酸或α‑甲基丙烯酸;溶剂C为甲 醇、丙烯酸或α‑甲基丙烯酸;1.4最后将溶液B、溶液C和溶液A或固体A混合并搅拌均匀后,得到低氟钆钡铜氧溶液,控制该溶液中钆、钡、铜三种金属离子的摩尔比为:Gd3+:Ba2+:Cu2+=1:2:3~3.3,且溶液中金属离子的总浓度控制在1~1.5mol/l;2)凝胶薄膜的制备及干燥:将低氟钆钡铜氧溶液作为前驱体溶液,结合浸渍提拉法或旋转涂覆法,在铝酸镧或钛酸锶单晶基片上,或带有缓冲层的NiW合金带材上,制备钆钡铜氧凝胶薄膜,随后将得到的凝胶薄膜在空气下,以80~100℃的温度干燥5~20分钟,得到钆钡铜氧干膜;3)薄膜预处理:将获得的钆钡铜氧干膜放入石英管式烧结炉中,先通入水蒸汽压为4~8kPa的潮湿O2气,然后以任意速率将炉内温度升高到200℃,再以2~20℃/min的速率将炉内温度升高到400~500℃,并保温5~15min;最后随炉自然冷却到室温,并停止通入潮湿O2气;上述预处理过程中,烧结炉与外界相通,炉内的气压始终维持在1atm;4)薄膜的终处理:从室温开始,向石英管式烧结炉中持续通气:先向石英管式烧结炉内通入干燥的惰性气体将炉内的空气排除,然后继续通入干燥的惰性气体并以15~25℃/min的速率将炉内温度从室温升高到780~830℃,随后将气氛切换成潮湿的氧气与惰性气体的混合气体,并在780~830℃的炉温下保温1~3小时,炉内氧气的分压保持在0.1~1vol%,水蒸汽压保持在4~8kPa,然后将气氛切换成同样氧分压且干燥的氧气与惰性气体的混合气体,在780~830℃的炉温下继续保 温10~30分钟,最后随炉自然冷却,当温度冷却到400~500℃后再将气氛切换成干O2,并在此温度下保温2~5小时;保温结束后,再随炉自然冷却到室温后,关闭气氛,取出样品,即为GdBCO高温超导薄膜;上述终处理过程中,烧结炉与外界相通,炉内的气压始终维持在1atm。
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