一种去除黑蜡、松香和石蜡混合物的半导体硅片清洗剂及其制备方法

摘要

一种去除黑蜡、松香和石蜡混合物的半导体硅片清洗剂，由下列重量份的原料制成：壬基酚聚氧乙烯醚2-3、脂肪醇聚氧乙烯醚3-4、十二烷基醇酰胺磷酸脂钠1-2、三聚磷酸钠2-3、十二烷基酚聚氧乙烯醚5-6、十二烷基苯磺酸钠2-3、乙醇30-40、助剂4-5、去离子水100-120。本发明的清洗剂主要使用非离子等多种表面活性剂，与水形成乳液，对黑蜡、石蜡、松香、脂类等有优异的溶解能力，对无机物颗粒、金属离子等也具有优异的清洗能力；该清洗剂无毒无腐蚀性,不污染环境,并可降低清洗成本。本发明的助剂能够在电路板表面形成保护膜，隔绝空气，防止大气中水及其他分子腐蚀电路板，抗氧化，方便下一步制作工艺进行。

主权项

一种去除黑蜡、松香和石蜡混合物的半导体硅片清洗剂，其特征在于由下列重量份的原料制成：壬基酚聚氧乙烯醚2‑3、脂肪醇聚氧乙烯醚3‑4、十二烷基醇酰胺磷酸脂钠1‑2、三聚磷酸钠2‑3、十二烷基酚聚氧乙烯醚5‑6、十二烷基苯磺酸钠2‑3、乙醇30‑40、助剂4‑5、去离子水100‑120；所述助剂由下列重量份的原料制成：硅烷偶联剂KH‑570 2‑3、抗氧剂1035 1‑2、植酸1‑2、吗啉3‑4、甲基丙烯酸‑2‑ 羟基乙酯3‑4、乙醇12‑15；制备方法是将硅烷偶联剂KH‑570 、植酸、乙醇混合，加热至60‑70℃，搅拌20‑30分钟后，再加入其它剩余成分，升温至80‑85℃，搅拌30‑40分钟，即得。