单晶晶面偏角及偏向测算方法

摘要

单晶晶面偏角及偏向测算方法属于单晶材料定向检测及加工技术领域。现有技术需要反复对晶体做偏角定向。本发明采用X射线晶体定向仪测量待测晶面上位于同一平面上的任意三点衍射角，标注所测三点的位置；连接所测三点成三角形，量出所述三角形边长并计算内角；建立空间直角坐标系；基于所述空间直角坐标系列出已知量与未知量方程组，求解所述三点及其投影点坐标，计算得到待测晶面法向向量与理想晶面的法向向量；根据晶系晶面夹角公式计算出待测晶面相对于理想晶面的偏角，再根据空间两方向向量夹角公式计算出待测晶面相对于理想晶面的偏向；根据所获得的偏角、偏向，调整晶体切割方向，一次切割加工出与晶体定向相符的晶面。

主权项

一种单晶晶面偏角及偏向测算方法，其特征在于：（a）采用X射线晶体定向仪测量待测晶面上位于同一平面上的任意三点A、B、C的衍射角，标注所测三点的位置，并将该待测晶面记为ABC面；（b）连接所测三点成三角形ΔABC，量出所述三角形边长并计算内角；（c）A、B、C在理想晶面上的投影点分别为A′、B′、C′，以A′为坐标原点、A′C′为Y轴建立空间直角坐标系，并将所述理想晶面记为A′B′C′面；（d）基于所述空间直角坐标系列出已知量与未知量方程组，求解A、B、C、A′、B′、C′六点的坐标，计算得到ABC面的法向向量与A′B′C′面的法向向量；（e）根据晶系晶面夹角公式计算出待测晶面相对于理想晶面的偏角，再根据空间两方向向量夹角公式计算出待测晶面相对于理想晶面的偏向；（f）根据所获得的偏角、偏向，调整晶体切割方向，一次切割加工出与晶体定向相符的晶面。