发明名称 | 一种叠层电极的制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种发光器件上的叠层电极的制备方法,依次包括如下步骤:(1)在半导体发光单元的表面蒸镀反射层;(2)在反射层表面蒸镀阻挡层;(3)在阻挡层表面溅射形成聚结抑制层;(4)在聚结抑制层上溅射氧化屏蔽层。 | ||
申请公布号 | CN103594596A | 申请公布日期 | 2014.02.19 |
申请号 | CN201310499937.3 | 申请日期 | 2013.10.22 |
申请人 | 溧阳市东大技术转移中心有限公司 | 发明人 | 丛国芳 |
分类号 | H01L33/40(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I | 主分类号 | H01L33/40(2010.01)I |
代理机构 | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人 | 黄明哲 |
主权项 | 一种叠层电极的制备方法,依次包括如下步骤:(1)在半导体发光单元的表面蒸镀反射层;(2)在反射层表面蒸镀阻挡层;(3)在阻挡层表面溅射形成聚结抑制层;(4)在聚结抑制层上溅射氧化屏蔽层。 | ||
地址 | 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇东门大街67号 |