发明名称 一种叠层电极的制备方法
摘要 本发明公开了一种发光器件上的叠层电极的制备方法,依次包括如下步骤:(1)在半导体发光单元的表面蒸镀反射层;(2)在反射层表面蒸镀阻挡层;(3)在阻挡层表面溅射形成聚结抑制层;(4)在聚结抑制层上溅射氧化屏蔽层。
申请公布号 CN103594596A 申请公布日期 2014.02.19
申请号 CN201310499937.3 申请日期 2013.10.22
申请人 溧阳市东大技术转移中心有限公司 发明人 丛国芳
分类号 H01L33/40(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/40(2010.01)I
代理机构 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人 黄明哲
主权项 一种叠层电极的制备方法,依次包括如下步骤:(1)在半导体发光单元的表面蒸镀反射层;(2)在反射层表面蒸镀阻挡层;(3)在阻挡层表面溅射形成聚结抑制层;(4)在聚结抑制层上溅射氧化屏蔽层。
地址 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇东门大街67号