磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射铝镜生产线的破真空充气装置，包括充气阀、内分流槽、内分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板。其中充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大；内分流槽两侧及底面的除正对充气口位置之外的位置上钻有若干小孔，小孔的总面积大于充气阀的过流口面积；外分流槽两侧及底面钻有若干小孔，小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积；内、外分流槽焊接在充气口上，其端板分别焊在内、外分流槽的两端并分别钻有小孔；内、外分流槽的小孔互相错开。本实用新型的磁控溅射铝镜生产线的破真空充气装置可有效降低真空室内进气的流速，避免破真空在充气时形成过激烈的冲击导致玻璃板破碎，进而导致停机事故的发生。

主权项

一种新型的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，包括充气阀、内分流槽、内分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板，其特征在于，所述内分流槽和所述外分流槽分别焊接在所述充气口上；所述内分流槽端板和所述外分流槽端板分别焊在所述内分流槽和所述外分流槽的两端；所述充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大，所述内分流槽的两侧和底面除正对着充气口方向的位置之外均钻有若干小孔，其小孔总面积大于充气阀的过流口面积；所述外分流槽的两侧及底面钻有若干小孔，其小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积。