| 发明名称 | 一种具有粗化表面的电极结构的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种具有粗化表面的电极结构的制造方法，其特征在于，所述方法依次包括如下步骤：（1）形成底部平坦电极，（2）在底部平坦电极上蒸镀金属材料层，对该金属材料层进行图案化以形成第一金属电极和第三金属电极；（3）对第一金属电极和第三金属电极的上表面进行粗化处理，形成粗化层；（4）在第一金属电极和第三金属电极之间蒸镀金以形成第二金属电极。 | ||
| 申请公布号 | CN103594586A | 申请公布日期 | 2014.02.19 |
| 申请号 | CN201310496745.7 | 申请日期 | 2013.10.21 |
| 申请人 | 溧阳市东大技术转移中心有限公司 | 发明人 | 丛国芳 |
| 分类号 | H01L33/38(2010.01)I | 主分类号 | H01L33/38(2010.01)I |
| 代理机构 | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人 | 黄明哲 |
| 主权项 | 一种具有粗化表面的电极结构的制造方法，其特征在于，所述方法依次包括如下步骤：（1）形成底部平坦电极，（2）在底部平坦电极上蒸镀金属材料层，对该金属材料层进行图案化以形成第一金属电极和第三金属电极；（3）对第一金属电极和第三金属电极的上表面进行粗化处理，形成粗化层；（4）在第一金属电极和第三金属电极之间蒸镀金以形成第二金属电极。 | ||
| 地址 | 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇东门大街67号 | ||