高频电源发生装置

摘要

为了得到在将多个开关元件并联地排列而循环地导通断开的情况下，即使负载非线性地变动也能得到稳定的电压脉冲输出的高频电源发生装置，在本发明的高频电源发生装置中，设为了如下结构：开关元件群（6a、6b）是并联连接了循环地进行导通断开动作的多个开关元件的结构，对直流电源（5）的+电极端连接开关元件群（6a）的一方并联连接端，对直流电源（5）的－电极端连接开关元件群（6b）的一方并联连接端，开关元件群（6a、6b）的各另一方并联连接端通过电抗器（7）连接，由于开关元件群（6a、6b）中的循环的导通断开动作而在电抗器（7）的两端中出现的脉冲电压通过同轴电缆（8）、匹配电路（9）被施加到负载。

主权项

一种高频电源发生装置，其特征在于，具备：直流电源；开关元件群，并联连接了循环地进行导通断开动作的多个开关元件，且该开关元件群的一方并联连接端与所述直流电源的一方电极端连接；第1电感元件，对所述开关元件群的另一方并联连接端与所述直流电源的另一方电极端之间进行连接；以及匹配电路，设置于对负载供给所述第1电感元件的两端中出现的脉冲电压的路径中。