| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR THE PLASMA COATING OF A SUBSTRATE, IN PARTICULAR A PRESS PLATEN |
| 摘要 |
<p>Es wird eine Vorrichtung (100..103) zur Plasmabeschichtung eines Substrats (2), insbesondere eines Pressblechs, angegeben, umfassend eine Vakuumkammer (3) und eine darin angeord- nete Elektrode (400..409), welche segmentiert ist, wobei jedes der Elektrodensegmente (500..512) einen eigenen Anschluss (6) für eine elektrische Energiequelle (700..702) aufweist. Weiterhin wird ein Verfahren zum Betrieb der genannten Vorrichtung (100..103) angegeben, bei dem ein zu beschichtendes Substrat (2) gegenüber der genannten Elektrode (400..409) positioniert und wenigstens eine, einem Elektrodensegment (500..512) zugeordnete Energiequelle (700..706) aktiviert wird. Zudem wird ein Gas eingeleitet, welches eine plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung auf dem Substrat (2) bewirkt.</p> |
| 申请公布号 |
WO2014022872(A2) |
申请公布日期 |
2014.02.13 |
| 申请号 |
WO2013AT50152 |
申请日期 |
2013.08.06 |
| 申请人 |
BERNDORF HUECK BAND- UND PRESSBLECHTECHNIK GMBH |
发明人 |
GEBESHUBER, ANDREAS;HEIM, DANIEL;LAIMER, JOHANN;MUELLER, THOMAS;PROSCHEK, MICHAEL;STADLER, OTTO;STOERI, HERBERT |
| 分类号 |
C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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