Reparieren von anomal festen Säulenhöckern

摘要

Der hierin offenbarte Gegenstand betrifft im allgemeinen ein Reparieren anomal fester Säulenhöcker, die über einem Metallisierungssystem eines Halbleiterchips oder Wafers erfasst werden können. Ein hierin offenbartes anschauliches Verfahren umfasst unter anderem ein Bilden eines Säulenhöckers über einem Metallisierungssystem eines Halbleiterchips und ein Bilden einer Mehrzahl von Aussparungen in dem Säulenhöcker, wobei die Mehrzahl von Aussparungen ausgelegt ist, um eine Flexibilität des Säulenhöckers anzupassen, wenn der Säulenhöcker einer lateralen Kraft ausgesetzt wird.