摘要 |
Ein Wellenfrontmessverfahren unter Verwendung eines Shack-Hartmann-Sensors enthält die Schritte der vorübergehenden Bestimmung eines einer Vielzahl von Lichtaufnahmeelementen als Schwerpunktposition in einem Punkt mit einer Lichtintensitätsverteilung von auf dem Lichtaufnahmeelement kondensiertem Licht, des Berechnens einer Entfernung zwischen der vorübergehend bestimmten Mittelpunktposition und einer angrenzenden Mittelpunktposition, des Einstellens eines Bereichs, der kleiner als und innerhalb eines Punkts ist, der teilweise einen anderen Punkt überlappt, und des Einstellens eines Punkts, der keinen anderen Punkt überlappt, auf den Bereich, des Berechnens einer Schwerpunktposition für jeden Bereich und des Berechnens der Wellenfront beruhend auf einem Verschiebungsausmaß zwischen einer idealen Schwerpunktposition, wenn paralleles Licht in das Mikrolinsenarray eintritt, und der Schwerpunktposition jedes Bereichs. |