Alkalischer Ätzprozess

摘要

Diese Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kantenisolation oder Texturglättung eines Substrats, bei dem ein Prozessmedium eingesetzt wird, das eine kontrollierte Behandlung begrenzter Bereiche des Substrates ermöglicht. Daher ist das Verfahren besonders zur einseitigen Behandlung von Substraten geeignet. Die Viskosität des Prozessmediums spielt dabei eine zentrale Rolle. Ferner wird eine Vorrichtung vorgestellt, die an das Verfahren angepasst ist.