Piezoelektrisches Schichtelement und Herstellungsverfahren dafür

摘要

Piezoelektrisches Schichtelement (10), in dem über eine Verbindungsmaterialschicht (19) eine Vielzahl von Schichtkörpereinheiten (11) übereinander geschichtet ist, in denen abwechselnd Keramikschichten (111) und Elektrodenanordnungsschichten (112) mit einem eine Innenelektrode bildenden Elektrodenabschnitt (503) übereinander geschichtet sind, wobei beide Endabschnitte in Aufschichtungsrichtung aus den Schichtkörpereinheiten (11) bestehen und die Dicke L2 der Verbindungsmaterialschicht (19) und die Querschnittsfläche S2 im rechten Winkel zur Aufschichtungsrichtung so eingestellt sind, dass L2 und S2 die folgenden Ausdrücke 1 und 2 erfüllen: (N1 × L1)/(S1 × Y1)≥(N2 × L2)/(S2 × ((2000–10800 × L2) × Y2))Ausdruck 1 S2≤S1Ausdruck 2mit L1: Höhe der Schichtkörpereinheit in Aufschichtungsrichtung in mm, S1: Querschnittsfläche der Schichtkörpereinheit im rechten Winkel zur Aufschichtungsrichtung in mm2, Y1: Elastizitätsmodul der Schichtkörpereinheit in Aufschichtungsrichtung in MPa, N1: Anzahl der übereinander geschichteten Schichten der Schichtkörpereinheit, L2: Höhe der Verbindungsmaterialschicht in Aufschichtungsrichtung in mm, S2: Querschnittsfläche der Verbindungsmaterialschicht im rechten Winkel zur Aufschichtungsrichtung in mm2, Y2: Elastizitätsmodul des die Verbindungsmaterialschichten bildenden Materials in MPa, N2: Anzahl an Verbindungsmaterialschichten.