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Ein optisches Modul weist ein erstes plattenförmiges Element 10 mit einer lichtdurchlässigen optischen Komponente 12 auf, die durch Anwendung von Ätzen auf einen Siliziumbereich 11 gebildet ist, und ein zweites plattenförmiges Element 20 mit lichtreflektierenden optischen Komponenten (Spiegeln 21 bis 24) zum Reflektieren von Licht, das durch die lichtdurchlässige optische Komponente 12 hindurchläuft. Die ersten und zweiten plattenförmigen Elemente 10 und 20 sind miteinander verbunden, und ein optischer Pfad für Licht, das durch die lichtdurchlässige optische Komponente 12 hindurchläuft, ist entlang einer Komponentenausbildungsfläche des ersten plattenförmigen Elements 10 und einer Hauptfläche des zweiten plattenförmigen Elements 20 ausgebildet. Dabei wird ein optisches Modul realisiert, bei dem es möglich ist, die lichtreflektierende optische Komponente und die lichtdurchlässige optische Komponente nahe zueinander anzuordnen, und es möglich ist, die Vorgaben zu erfüllen, selbst in dem Fall, in dem die Vorgaben für die Eigenschaften des Substrats in Abhängigkeit der optischen Komponenten widersprüchlich sind, und ein Herstellungsverfahren für das optische Modul realisiert. |
