发明名称 Verfahren zum Abscheiden einer für das Drahtbonden geeigneten Palladiumschicht auf Leiterbahnen einer Schaltungsträgerplatte und Verwendung eines Palladiumbades in dem Verfahren
摘要 <p>Verfahren zum Abscheiden von Palladiumschichten, welche zum Bonden geeignet sind, auf Leiterbahnen von Schaltungsträgerplatten, insbesondere auf Leiterbahnen aus Kupfer, durch Abscheiden von Palladium aus einem Palladium-Austauschbad dadurch gekennzeichnet, dass ein Austausch-Palladiumbad verwendet wird, welches einen organischen Glanzbildner enthält.</p>
申请公布号 DE102010011269(B4) 申请公布日期 2014.02.13
申请号 DE20101011269 申请日期 2010.03.13
申请人 AMI DODUCO GMBH 发明人 HEBER, JOCHEN;MARKA, ERWIN;MACHT, WALTER;OELSCHLAEGER, SILKE
分类号 C23C18/54;C23C18/42;H01L21/60 主分类号 C23C18/54
代理机构 代理人
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