发明名称 Trocknen von Polysilicium
摘要 Anlage zum Reinigen und Trocknen von Stäben oder Stabstücken aus polykristallinem Silicium, umfassend wenigstens zwei miteinander kommunizierend verbundene Spülbehälter zum Spülen der Stäbe oder Stabstücke, in denen sich ein Aufnahmebehälter für Stäbe oder Stabstücke befindet, die als Spülkaskade geschaltet sind, wobei der Aufnahmebehälter wenigstens zwei Auflagestege beinhaltet, auf denen die Stäbe oder Stabstücke aufgelegt werden können, und einen dritten Behälter zum Trocknen der Stäbe oder Stabstücke, der ebenfalls wenigstens zwei Auflagestege umfasst, wobei die wenigstens zwei Auflagestege jenes dritten Behälters gegenüber den wenigstens zwei Auflagestegen des Aufnahmebehälters versetzt angeordnet sind.
申请公布号 DE102012218748(B4) 申请公布日期 2014.02.13
申请号 DE201210218748 申请日期 2012.10.15
申请人 WACKER CHEMIE AG 发明人 WOCHNER, HANNS;NIEDERMEIER, ROLAND
分类号 C01B33/037 主分类号 C01B33/037
代理机构 代理人
主权项
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