发明名称 |
Halterung für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken |
摘要 |
Gegenstand der Erfindung ist eine Halterung (10) für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken (2), umfassend – zwei parallel angeordnete Verbindungselemente (5) mit jeweils wenigstens drei Aufnahmen für eine entsprechende Anzahl an Unterstützungsrollen (1) und – wenigstens drei parallel angeordnete zylindrische Unterstützungsrollen (1), die sich zwischen den Verbindungselementen (5) erstrecken, wobei die Enden der Unterstützungsrollen (1) in den Aufnahmen der Verbindungselemente (5) drehbar gelagert sind und wobei die Unterstützungsrollen (1) entlang ihres Umfangs Rillen (6) zur Aufnahme der Werkstücke (2) aufweisen. Die Erfindung bezieht sich auch auf eine Anordnung umfassend die beschriebene Halterung und ein Flüssigkeitsbecken. |
申请公布号 |
DE102012214316(A1) |
申请公布日期 |
2014.02.13 |
申请号 |
DE201210214316 |
申请日期 |
2012.08.10 |
申请人 |
SILTRONIC AG |
发明人 |
EDMAIER, WALTER;KUEHNSTETTER, ALBERT;RATZ, CARMEN;REESKE, GREGOR |
分类号 |
H01L21/673;C30B33/10;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/673 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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