发明名称 Halterung für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken
摘要 Gegenstand der Erfindung ist eine Halterung (10) für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken (2), umfassend – zwei parallel angeordnete Verbindungselemente (5) mit jeweils wenigstens drei Aufnahmen für eine entsprechende Anzahl an Unterstützungsrollen (1) und – wenigstens drei parallel angeordnete zylindrische Unterstützungsrollen (1), die sich zwischen den Verbindungselementen (5) erstrecken, wobei die Enden der Unterstützungsrollen (1) in den Aufnahmen der Verbindungselemente (5) drehbar gelagert sind und wobei die Unterstützungsrollen (1) entlang ihres Umfangs Rillen (6) zur Aufnahme der Werkstücke (2) aufweisen. Die Erfindung bezieht sich auch auf eine Anordnung umfassend die beschriebene Halterung und ein Flüssigkeitsbecken.
申请公布号 DE102012214316(A1) 申请公布日期 2014.02.13
申请号 DE201210214316 申请日期 2012.08.10
申请人 SILTRONIC AG 发明人 EDMAIER, WALTER;KUEHNSTETTER, ALBERT;RATZ, CARMEN;REESKE, GREGOR
分类号 H01L21/673;C30B33/10;H01L21/306 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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