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Vorrichtung zur Vakuumbeschichtung durch Metall- oder Legierungsverdampfung, wobei das Metall oder die Legierung in einem Schmelztiegel (1) außerhalb einer Vakuumkammer (5) geschmolzen wird, wobei das geschmolzene Metall (2) über eine magnetohydrodynamische MHD-Pumpe (8) einem in der Vakuumkammer (5) angeordneten Verdampfer (4) zuführbar ist und der Pegel (L) der Schmelze im Verdampfer (4) während der Verdampfung konstant gehalten ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Schmelztiegel (1) und dem Verdampfer (4) in der Vakuumkammer (5) ein Kreislauf (7) angeordnet ist, der eine erste Flüssigmetallleitung (6) aufweist, die über die MHD-Pumpe (8) den Schmelztiegel (1) mit dem Verdampfer (4) verbindet, dass vor der MDH-Pumpe (8) über eine Flüssigmetallleitung (11) ein Vorratsbehälter (12) angeschlossen ist, der über eine Flüssigmetallleitung (10) mit einem Ausdehnbehälter (13) verbunden ist, dass nach der MHD-Pumpe (8) über eine Flüssigmetallleitung (9) der Ausdehnbehälter (13) angeschlossen ist, dass ein erster Füllstandsgeber (15) den Pegel (L) für den Verdampfer (4) und ein zweiter Füllstandsgeber (15) den maximalen Pegel im Ausdehnbehälter (13) vorgeben und dass in beiden Pegelständen der Ausdehnbehälter (13) über die Flüssigmetallleitungen (9, 10) mit dem Vorratsbehälter (12) verbunden ist. |
