发明名称 |
有机层沉积组件和设备、有机发光显示设备及其制造方法 |
摘要 |
有机层沉积组件、有机层沉积设备、有机发光显示设备和制造有机发光显示设备的方法,为了改进沉积层的特性,该有机层沉积组件包括用于排放沉积材料的沉积源、位于沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴的沉积源喷嘴单元、和构图狭缝片,该构图狭缝片面对沉积源喷嘴单元并且包括多个构图狭缝和位于多个构图狭缝的边缘部分处的一个或多个对准确认图案狭缝,其中,在进行沉积过程的同时,从沉积源排放的沉积材料经过构图狭缝片然后形成在衬底上。 |
申请公布号 |
CN103572204A |
申请公布日期 |
2014.02.12 |
申请号 |
CN201310200264.7 |
申请日期 |
2013.05.27 |
申请人 |
三星显示有限公司 |
发明人 |
李明基;李星奉;郑栋燮;金茂显 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 |
代理人 |
余朦;姚志远 |
主权项 |
有机层沉积组件,用于在衬底上沉积有机层,所述有机层沉积组件包括:沉积源,用于排放沉积材料;沉积源喷嘴单元,位于所述沉积源的一侧,并且包括多个沉积源喷嘴;以及构图狭缝片,面对所述沉积源喷嘴单元,并且包括多个构图狭缝和位于所述多个构图狭缝的边缘部分处的一个或多个对准确认图案狭缝,其中,所述沉积源被配置为在进行沉积过程时排放所述沉积材料以经过所述构图狭缝片并随后排放在所述衬底上。 |
地址 |
韩国京畿道 |