| 发明名称 | 一种透明导电薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于半导体光电材料领域，其公开了透明导电薄膜极其制备方法；该导电薄膜包括作为缓冲和匹配作用的MgO层，作为导电作用的Ag层，以及作为高功函作用的WO3层；且MgO层、Ag层和WO3层形成MgO-Ag-WO3三文治结构。本发明提供的透明导电薄膜，为MgO-Ag-WO3三文治结构的三层阳极薄膜，第一层MgO层有一定的导电性，并起着匹配层的作用，中间的Ag层起主要的导电作用，外层WO3具有较高的表面功函数，与器件其他功能层的能级匹配；且该薄膜的方块电阻低至8Ω/囗，可见光透过率达92%，表面功函数6.1eV。 | ||
| 申请公布号 | CN103568393A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
| 申请号 | CN201210266487.9 | 申请日期 | 2012.07.30 |
| 申请人 | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 | 发明人 | 周明杰;王平;陈吉星;冯小明 |
| 分类号 | B32B15/04(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I | 主分类号 | B32B15/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 何平 |
| 主权项 | 一种透明导电薄膜，其特征在于，该导电薄膜包括作为缓冲和匹配作用的MgO层，作为导电作用的Ag层，以及作为高功函作用的WO3层；且MgO层、Ag层和WO3层形成MgO‑Ag‑WO3三文治结构；MgO层、Ag层和WO3层的厚度分别为30～100nm、5～50nm和0.5～5nm。 | ||
| 地址 | 518100 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层 | ||