一种MEMS压阻式加速度计

摘要

本发明公开了一种MEMS压阻式加速度计，包括：衬底、边框、弹性梁以及通过弹性梁支悬于边框中心位置的主质量块、支质量块、上封帽、多组压敏电阻；所述边框固定于衬底上端；所述支质量块设置于弹性梁上，且与弹性梁构成异形弹性梁结构；所述弹性梁的中间部位以及弹性梁与框架连接处设有多组压敏电阻；所述主质量块与弹性梁的厚度相等；所述上封帽固定于框架上端面，其内部有凹槽结构，所述主质量块在凹槽内部悬空，且在感测各方向的惯性力时自由运动。本发明采用多根弹性梁单主质量块的结构，通过一个主质量块感受不同方向的惯性力时异形弹性梁的不同位置应力的变化，有效减小了器件体积，同时本发明具有灵敏度高、固有频率高、抗高过载能力强等优点。

主权项

一种MEMS压阻式加速度计，包括：衬底、边框（3）、弹性梁（2）以及通过弹性梁（2）支悬于边框（3）中心位置的主质量块（1）；所述边框（3）固定于衬底上端；其特征在于：所述一种MEMS压阻式加速度计还包括：支质量块（4）、上封帽（5）、多组压敏电阻；所述支质量块（4）设置于弹性梁（2）上，且与弹性梁（2）构成异形弹性梁结构；所述弹性梁（2）的中间部位以及弹性梁（2）与框架（3）连接处设有感测三个垂直轴向惯性力的多组压敏电阻，每个轴向上的压敏电阻连接构成惠斯通电桥；所述主质量块（1）与弹性梁（2）的厚度相等；所述上封帽（5）固定于框架（3）上端面，其内部有凹槽结构，所述主质量块（2）在凹槽内部悬空，且在感测各方向的惯性力时自由运动。