发明名称 包含ZnO立方烷的混合物的配制剂和使用它们制备半导体ZnO层的方法
摘要 本发明涉及包含以下组分的配制剂:a)至少两种不同的ZnO立方烷,其中至少一种ZnO立方烷在SATP条件下以固态存在和至少一种ZnO立方烷在SATP条件下以液态存在,和b)至少一种溶剂,由这些配制剂制备半导体ZnO层的方法,所述配制剂用于制备电子元件的用途和所述电子元件本身。
申请公布号 CN102216490B 申请公布日期 2014.02.12
申请号 CN200980145968.0 申请日期 2009.11.04
申请人 赢创德固赛有限责任公司 发明人 H.西伊姆;J.斯泰格;A.梅堀洛夫;D.V.普哈姆;Y.阿克舒;S.舒特;M.德里伊斯
分类号 C23C18/12(2006.01)I;C07F3/06(2006.01)I 主分类号 C23C18/12(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 石克虎;林森
主权项 配制剂,包含:a)至少两种不同的ZnO立方烷,其中i)至少一种ZnO立方烷在SATP条件下以固态存在,和 ii)至少一种ZnO立方烷在SATP条件下以液态存在,和b)至少一种溶剂。
地址 德国埃森