发明名称 |
包含ZnO立方烷的混合物的配制剂和使用它们制备半导体ZnO层的方法 |
摘要 |
本发明涉及包含以下组分的配制剂:a)至少两种不同的ZnO立方烷,其中至少一种ZnO立方烷在SATP条件下以固态存在和至少一种ZnO立方烷在SATP条件下以液态存在,和b)至少一种溶剂,由这些配制剂制备半导体ZnO层的方法,所述配制剂用于制备电子元件的用途和所述电子元件本身。 |
申请公布号 |
CN102216490B |
申请公布日期 |
2014.02.12 |
申请号 |
CN200980145968.0 |
申请日期 |
2009.11.04 |
申请人 |
赢创德固赛有限责任公司 |
发明人 |
H.西伊姆;J.斯泰格;A.梅堀洛夫;D.V.普哈姆;Y.阿克舒;S.舒特;M.德里伊斯 |
分类号 |
C23C18/12(2006.01)I;C07F3/06(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/12(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
石克虎;林森 |
主权项 |
配制剂,包含:a)至少两种不同的ZnO立方烷,其中i)至少一种ZnO立方烷在SATP条件下以固态存在,和 ii)至少一种ZnO立方烷在SATP条件下以液态存在,和b)至少一种溶剂。 |
地址 |
德国埃森 |