发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:具有开口的层间绝缘层;形成在开口的下部中的接触插塞,其中接触插塞包括第一导电层;以及形成在开口的上部中且与接触插塞耦接的位线,其中位线包括第二导电层。
申请公布号 CN103579177A 申请公布日期 2014.02.12
申请号 CN201310046187.4 申请日期 2013.02.05
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 李南宰
分类号 H01L23/522(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L23/522(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 俞波;石卓琼
主权项 一种半导体器件,包括:层间绝缘层,所述层间绝缘层具有开口;接触插塞,所述接触插塞被形成在所述开口的下部中,其中所述接触插塞包括第一导电层;以及位线,所述位线被形成在所述开口的上部中且与所述接触插塞耦接,其中所述位线包括第二导电层。
地址 韩国京畿道