发明名称 | 半导体器件及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:具有开口的层间绝缘层;形成在开口的下部中的接触插塞,其中接触插塞包括第一导电层;以及形成在开口的上部中且与接触插塞耦接的位线,其中位线包括第二导电层。 | ||
申请公布号 | CN103579177A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
申请号 | CN201310046187.4 | 申请日期 | 2013.02.05 |
申请人 | 爱思开海力士有限公司 | 发明人 | 李南宰 |
分类号 | H01L23/522(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/522(2006.01)I |
代理机构 | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人 | 俞波;石卓琼 |
主权项 | 一种半导体器件,包括:层间绝缘层,所述层间绝缘层具有开口;接触插塞,所述接触插塞被形成在所述开口的下部中,其中所述接触插塞包括第一导电层;以及位线,所述位线被形成在所述开口的上部中且与所述接触插塞耦接,其中所述位线包括第二导电层。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |