多晶硅生产中的二氧化硅回收装置

摘要

本实用新型公开了多晶硅生产中的二氧化硅回收装置，包括：一过滤器，所述过滤器出口通过第一气动开关阀、第二气动开关阀连接一位于漏斗型料斗上端的进口，一喷射器，所述喷射器喷嘴对准漏斗型料斗底部，一存储料仓，用于承载落入的二氧化硅粉末，所述漏斗型料斗一底部出口通过第三气动开关阀连接存储料仓。本实用新型不仅带动了多晶硅生产中含有氯硅烷废气废液的连续处理，还能够回收二氧化硅，作为副产品出售，实现“安全化”、“无害化”和“资源化”，提高了整个系统硅的利用率，降低环境污染，实现节能减排,降低处理成本。

主权项

多晶硅生产中的二氧化硅回收装置，其特征在于，包括：一过滤器，所述过滤器出口通过第一气动开关阀、第二气动开关阀连接一位于漏斗型料斗上端的进口，一喷射器，所述喷射器喷嘴对准漏斗型料斗底部，一存储料仓，用于承载落入的二氧化硅粉末，所述漏斗型料斗一底部出口通过第三气动开关阀连接存储料仓。