超声波元件以及超声波内窥镜

摘要

US元件（20）具备硅衬底（11）以及在硅衬底（11）上按顺序层叠的：下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；形成多个空腔（14）的上部绝缘层（15）；上部电极层（16），具有多个上部电极部（16A）和多个上部布线部（16B）、与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17），并且US元件（20）还具备至少在上述下部布线部（12B）的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子（53）连接的屏蔽电极部（71）。

主权项

一种超声波元件，其特征在于，具备：基体；以及在上述基体上按顺序层叠的：下部电极层，与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子连接，具有多个下部电极部以及将上述多个下部电极部连接的多个下部布线部；下部绝缘层；形成有多个空腔的上部绝缘层；上部电极层，与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子连接，具有隔着各个空腔分别与下部电极部对置配置的多个上部电极部、以及将上述多个上部电极部连接的多个上部布线部；以及保护层，该超声波元件还具备至少在上述下部布线部的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子连接的屏蔽电极部。