一种真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的制备方法，使用整卷不锈钢为基材，第一层下电极薄膜的制备使用钼钠靶材，高温CIGS蒸镀成膜时藉由扩散过程钠元素会进入CIGS膜层中以提高电池的效率，缓冲层方面使用溅镀的锌镁氧膜层取代传统的水浴法的CdS膜，使得CIGS太阳能电池能够实现整卷的生产，利用卷对卷溅镀机镀下电极(MoNa)、缓冲层(ZnMgO)及透明导电膜(95ITO)层，再利用卷对卷蒸镀机制备CIGS吸收层，实现CIGS电池的生产在全真空的制程下完成，确保大面积的均匀性，大幅提高电池的生产效率及产率，大幅降低人力工时，提高了薄膜质量及性能，符合CIGS薄膜太阳能电池的生产需求。

主权项

一种真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的制备方法，其特征为：使用幅宽15‑150cm的整卷不锈钢为基材，不锈钢的厚度小于1.0mm，镀膜前先针对不锈钢的基材表面进行清洗处理，然后使用钼钠靶材在真空卷对卷度镀膜机中先镀制MoNa薄膜，首先把不锈钢基材置入卷对卷真空溅镀机，然后以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10‑5‑0.9×10‑5 torr后，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为5×10‑3torr，使用DC电源在不锈钢基材上溅镀第一层500nm厚的MoNa薄膜；然后再使用卷对卷共蒸镀机制造第二层2000nm厚的CIGS吸收层薄膜，共蒸镀镀膜时基材加热至300‑550℃；接着以真空溅镀法制备第三层锌镁氧薄膜，将锌镁氧靶材放在溅镀机上，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10‑5‑0.9×10‑5 torr后，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为2.5×10‑3torr，以RF电源进行溅镀制程，制得厚度100nm的锌镁氧薄膜；最后镀制第四层透明导电膜，使用氧化铟锡靶材，将氧化铟锡靶材放入真空腔中，然后以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10‑5‑0.9×10‑5 torr后，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为2×10‑3torr，以DC电源进行溅镀制备，制得厚度100nm的透明导电氧化铟锡薄膜，即得。