一种多碱光电阴极膜层厚度的测量系统

摘要

本发明公开了一种多碱光电阴极膜层厚度的测量系统，主要用于微光像增强器在真空状态下对其多碱光电阴极膜层厚度的测量。其主要技术方案是：在箱体内左边，安装一个光源，之后又安装一个单色器、分光器，在分光器上部设有反射镜，之后安装一个光电倍增管，光电倍增管与计算机连接，在分光器下部后方安装一个反射率测定部件，之后仍设有反射镜。本发明通过实际应用证明：从根本上克服了微光像增强器多碱阴极制造中质量不稳定、技术指标难以到达的现象。有效地提高了多碱阴极的灵敏度和微光像增强器的整体性能水平。

主权项

一种多碱光电阴极膜层厚度的测量系统，其特征在于：具体结构是，从箱体（9）内的左边开始，通过支架和胶粘的方式，安装一个光源（6），之后同轴安装一个单色器（7）、分光器（8），在分光器（8）上部正前方安装一块反射镜（12），与反射镜（12）成90°的正下方再安装一块反射镜（12），在反射镜（12）之后沿单色器（7）的光轴延长线，安装一个光电倍增管（13），光电倍增管（13）的输出端与箱体外的计算机（14）连接，在分光器（8）下部后方安装一个反射率测定部件（11），在反射率测定部件（11）的出射端之后安装一块反射镜（12），与反射镜（12）成90°正上方再安装一块反射镜（12），其测量操作流程为：A、设备预热，首先打开测量系统及计算机的电源进行预热约2～3分钟；B、系统光路检查，打开光源（6）和操作软件进行系统光路检查是否正常，由计算机显示检查完成即可；C、检查参考光路，打开测量系统的箱体盖板（15）及反射率测定部件（11）的护罩，检查参考光路是否正常，而后关闭盖板及护罩；D、光谱范围设定，按照微光像增强器需要测试的光谱范围360nm～1000nm进行设定；E、空测反射率，打开操作软件、开始反射光采集，进行光谱反射率空测一次，反射率测试100%归零；F、清洁被测件，用酒精和乙醚混合溶液擦拭待测的微光像增强器（10）的玻璃输入窗表面，清洁后待测；G、装入被测件，打开测量系统的箱体盖板（15）及反射率测定部件（11）的护罩，装入待测的微光像增强器（10），关闭盖板（15）；H、测出反射率曲线，进行反射光采集及光谱范围的反射率测定，此时由光源（6）发出的光，经单色器（7）连续分离出单色光，通过分光器（8）分成两束光线，一束为参考光，一束为测量光，测量光对微光像增强器（10）的多碱阴极进行照射，光线反射后经反射率测定部件（11）和反射镜（12）折转，由高灵敏度的光电倍增管（13）交替接收参考光和多碱阴极的反射光，并把采集到的反射光、参考光信号转变成电信号，输出给计算机（14），经软件处理，得出多碱阴极光谱反射率曲线；I、计算膜层厚度，从光谱反射率曲线中查出一级干涉减弱峰对应的波长λ，从折射率曲线中查出一级干涉减弱峰波长λ对应的折射率n，N=1，代人干涉方程式2nd＝λN，计算出多碱阴极膜层的厚度值d。